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真空泄露?真空腔体

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发表于 2025-7-1 17:52:51 | 查看全部 |阅读模式
请教大家一个真空不保压的问题?腔室16L,真空腔体在出厂检验过漏气率6.2*10-2次方pa.L/s
腔体主要材质是304不锈钢,腔体的门板是铝合金,内表面电解抛光过。
现在情况是,空抽,介质是空气,关闭挡板阀后,理论来说是保压状态,
但结果是关闭挡板阀就开始升压,从10pa缓慢升压,至10小时后升压到150pa
后面再次腔体捡漏却没有发现漏点,对了,总共抽真空20几次,都是用常规空气破真空的
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